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你知道鍍鋅風(fēng)管(guǎn)有什麽類型嗎?下麵(miàn)上海(hǎi)通風管道廠家介紹以(yǐ)下幾(jǐ)種類型
(1)一般排氣:其來源於機台運轉發熱產生不含有害物(wù)質或是高溫氣體,但考(kǎo)慮無塵室空調負荷與過濾裝置負荷,因此將廢(fèi)氣以一般風車抽至大氣排放至大氣環境(jìng)而不需處理。注:GEX采用鍍鋅螺旋風管,HEX采用SUS304酸排(SEX)、堿排(AEX)係統流(liú)程:
(2)酸堿性排氣:其主要來源於化學清洗(xǐ)工作站(zhàn),清洗晶片時所產生之揮發性氣體,此氣體部分含有濃煙,部分則對呼吸係統有刺激性作用有害人體,故須經過Scrubber中水洗(xǐ)中和處理,再由風機排入大氣。
(3)有機溶劑排氣:其主要來源於塗膠、顯影工序和各工序使用有機溶劑清洗過程時所(suǒ)產生,需經有機廢氣處理設備處理後,再由風機排入大氣。

(4)堿性剝離排氣:主要來源為陣列工程的剝離工序所使用之剝離液(yè),廢氣經過(guò)冷凝吸收器,將廢氣中的(de)剝(bāo)離液冷卻下來,冷凝器吸收處理後的廢氣所含的廢氣濃度會大為下降,然後(hòu)送至Central Scrubber做水洗中和處(chù)理,再由風機(jī)排大氣。
(5)應急排氣:當潔淨室機台(tái)端(duān)風管內探頭感應氣體濃度過高時,緊急啟(qǐ)用以使生產(chǎn)正常並維持室內環境。
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